Kokusai DD-1206VN-DF Vertical Furnace, PYRO Process for Sale

CURRENTLY DEINSTALLED, WAREHOUSED.

MODEL:CX3000(DD-1206VN-DF ) PYRO
HEATER          480V 3PHASE
SYSTEM        120V 1PHASE
OTHER        2 BOAT, DAMPER(BLOWER)
UTILITY        Lower part(Gas line/PCW line/Power)
GAS        N2 / H2 / O2 / N2O / TLC(DCE)

Please refer to the attached numbered photos showing the furnace parts as follows:-
1        2 BOAT SYSTEM  OR  1 BOAT SYSTEM
2        EPV100-AP OR EPV100-AW
3        TLC /  ATCS-15 (SCHUMACHER)
4        GAS DETECTOR / H2,DCE,N2O
5        TORCH UNIT
6        GAS BOX(Aera(MFC))

1.General Configuration                           
NO    Description                STATUS       
1    Process        PYRO                   
2    Wafer Size        300mm                   
3    Boat Operation        2 Boat       
4    Gas Suppiy Line        BTM       
5    PCW Suppiy Line        BTM   
6    Controller  Power    120VAC,1PHASE                   
7    Heater  Power        480VAV,3PHASE                   
8    Hard Disk                PRESENT       
9    N2 Load Lock            PRESENT         
                                                        
2. Parts Included                               
NO    Description                STATUS               
1    Main Body                PRESENT   
2    Front Body                PRESENT   
3    Power Box                PRESENT       
4    Front Upper Cover        PRESENT   
5    Buffer Rack Upper Cover    PRESENT   
6    Heater Upper Cover        PRESENT       
7    Door Panel Cover        PRESENT       
8    SUS Base Plate            PRESENT       
                                                                                                              
3.Furnace Unit                               
NO    Description                    STATUS                   
1    T/C for Heater Controller    PRESENT   
2    T/C for Heater Over         PRESENT

4.Controller                                
NO    Description                   
1    Main Controller        CX3010 OR CX3010B                   
2    Sub Operation        CX3002P                   
3    Mecha Controller    ROBO5000                   
4    Temp  Controller    CQ1700                   
5    Gate Driver Unit    DN-150V-TS                   
6    GAS Controller        CX3202                   
7    Valve/Interlock Unit        CS1G(OMRON)                   
8    Signal Tower                Front       
9    Gas Fiow Pattern GFC        Front and Rear
10    Torch Controller Unit        CX1317B or CX1317                   
11    ATCS                         ATCS-15 (SCHUMACHER)                   
                                
                               
5.Driver Mechanisms                               
NO    Description                STATUS                   
1    I/O Shutter                PRESENT       
2    I/O Stage                PRESENT   
3    Foup Loader ARM         PRESENT   
4    Rotation Foup  Buffer Rack    FOUP Number:16                   
5    Foup Opener               2 Port                   
6    Wafer Detection          25 in one lot                   
7    Wafer Transfer            PRESENT         
8    Fork                    1+4/Ceramic                   
9    Boat Elevator            PRESENT   
10    Sealcap                    PRESENT   
11    Turn Table                PRESENT       
12    Mecha Interface Board    Front and Rear
13    Pendent                    PRESENT        
14    Broken Wafer Detector   NOT PRESENT
                                 
                               
6.Gas System                               
NO    Description        STATUS                   
1    Gas Unit(IGS)    Aera+Fujikin                   
2    MFC                PRESENT        
3    Valve            PRESENT    
4    Torch Unit        PRESENT       

7.Driver Mechanisms           
NO    Description                STATUS
1    E-Axis Motor/Driver        PRESENT
2    R-Axis Motor/Driver        PRESENT
3    Z-Axis Motor/Driver        PRESENT
4    X-Axis Motor/Driver        PRESENT
5    Y-Axis Motor/Driver        PRESENT
6    V-Axis Motor/Driver        PRESENT
7    CR-Axis Motor/Driver    PRESENT
8    CZ-Axis Motor/Driver    PRESENT
9    CX-Axis Motor/Driver    PRESENT
10    CY-Axis Motor/Driver    PRESENT
11    Z-Axis Motor/Driver        PRESENT
12    BY1/BY2 Axis            PRESENT

8.Exhaust System           
NO    Description            STATUS
1    Exhaust APC Valve    EPV100-AP OR EPV100-AW
2    Pressure Sensor        PRESENT
3    RCU Damper            PRESENT
4    RCU Damper Support    PRESENT